진공 회수 시스템(Vacuum Recovery System) 이란?

진공 회수 시스템(Vacuum Recovery System)은 특히 반도체 산업 후공정인 소잉(Sawing) 기계(M/C) 작업 공정상 필수적으로 필요한 시스템입니다. 진공 이젝터 타입 진공 회수 시스템은 (주)오메가오토메이션의 진공 트랩(Vacuum Trap)과 스웨덴 파이아브 (Piab AB)사의 멀티 스테이지 진공이젝터(Multi-­stage Vacuum Ejector)를 조합하여, 신개념 시스템으로 발명 특허 등록한 기술입니다.

VRS의 특징

1. 반도체 장비, 식품 진공 포장기계, LCD 및 LED 흡착, 세척 장치, 진공 회수 장치 등 적용 가능합니다.
2. 모터(Motor)를 사용하지 않습니다. 작업 소음도(60dBA 이하)
3. 수명이 길고 유지보수비용이 매우 적습니다.
4. 디아이 워터 (DI water)를 흡입하면서 분리·수거 작업을 할 수 있으며 작업 중에도 진공 상태 유지합니다.